(一)真空度:表示真空狀態(tài)下氣體稀薄的程度，通常用壓強(qiáng)值.托，表示。

　　(二)極限真空:真空系統(tǒng)或真空泵在給定條件下，經(jīng)充分抽氣后，所能達(dá)到的穩(wěn)定的*低壓強(qiáng)。

　　(三)反壓強(qiáng):真空系統(tǒng)中有前級真空的真空泵的出口壓強(qiáng)。

　　(四)抽氣速率:在一定壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)泵從被抽容器抽除的氣體體積。

　　(五)漏氣速率。單位時(shí)間內(nèi)，氣體通過漏孔漏入到真空容器中的氣體量。單位為托·升/秒。

　　(六)壓升率:真空系統(tǒng)或被抽容器，在單位時(shí)間內(nèi)，因漏氣而導(dǎo)致壓強(qiáng)升高的值。單位為托/分或徽米汞往/分。

　　(七)總壓強(qiáng):真空系統(tǒng)中所有氣體分壓強(qiáng)的總和。

　　(八)分壓強(qiáng):真空系統(tǒng)中各種單一氣體所具有的壓強(qiáng)。

　　(九)飽和蒸氣壓:在一定的溫度下，物質(zhì)蒸發(fā)到空間所能達(dá)到的*大分壓，稱為該物質(zhì)在此溫度下的飽和蒸氣壓。

　　(十)平均自由程:一個(gè)分子與其他氣體分子每連續(xù)兩次碰掩所走過的路程叫自由程，相當(dāng)多的不同自由程的平均值叫平均自由程。

　　(十一)粘滯流:氣體分子平均自由程比導(dǎo)管截面*，J線性尺寸小得多的氣體流動(dòng)。

　　(十二)分子流:氣體分子平均自由程大于導(dǎo)管截面*大線性尺寸的氣體流動(dòng)。

　　(十三)粘滯一分子流:處于粘滯流和分子流之間的流動(dòng)。