我們所知道的真空計(jì)有彈性式真空表、熱偶真空計(jì)、電阻真空計(jì)、電離真空計(jì)等相對真空計(jì)?,F(xiàn)將常用的真空計(jì)工作原理簡介如下:
現(xiàn)代電爐有限公司是專業(yè)從事加熱爐、退火爐、焙燒爐、深井爐設(shè)計(jì)、制造、現(xiàn)場安裝調(diào)試的企業(yè),主要生產(chǎn)各種大型臺車爐、燃?xì)?b>加熱爐、燃?xì)?b>退火爐、蓄熱式加熱爐等一系列產(chǎn)品,公司經(jīng)營秉承以技術(shù)為先導(dǎo),以質(zhì)量為根本,為用戶提供一流的產(chǎn)品。
?。ㄒ?彈性式真空表(圖6),真空表內(nèi),有一由被青銅或不銹鋼等彈性材料制成的扁平截而彈簧彎管,管的一端與被測真空系統(tǒng)相連,另一端封死,并通過連桿齒輪與指針相連。當(dāng)彈簧管內(nèi)氣體壓強(qiáng)增高時,彈簧管的截面形狀向圈形變化,并使彈簧管向外擴(kuò)張,帶動指針偏轉(zhuǎn)。反之,當(dāng)管內(nèi)氣體壓強(qiáng)降低時,指針朝相反方向旋轉(zhuǎn)。此種真空表,其真空度的測魚范圍為760托“"1托。
(二)熱偶真空計(jì):熱偶真空計(jì)由測量真空度的敏感元件、熱偶規(guī)管和測量儀器組成。規(guī)管見圖7。測量儀器,由測量熱電勢的毫伏計(jì)和規(guī)骨加熱絲穩(wěn)壓電源兩部分組成。熱偶規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱偶規(guī)管外殼為玻璃管,內(nèi)部有加熱絲1和熱偶絲2。熱偶絲的冷端和熱端W.度不同時,由于溫差效應(yīng),在回路中有熱電勢產(chǎn)生。如加熱絲電壓保持恒定,則熱偶絲的熱電勢取決于加熱絲的m度,而加熱絲的溫度與被側(cè)氣體的壓強(qiáng)有關(guān)。如壓強(qiáng)降低時,氣體的導(dǎo)熱率減小,被氣體傳走的熱量減小,加熱絲的溫度隨之升高,熱偶絲的熱電勢增加,反之,氣體壓強(qiáng)增高時,氣體的導(dǎo)熱率增加,被氣體帶走的熱量增加,加熱絲的溫度降低,熱電偶的熱電勢減小。用毫伏表測量熱電倆回路中的熱電勢,即可測出被測真空系統(tǒng)真空度的大小。
(三)電阻真空計(jì)(圖8):電阻真空計(jì)又稱皮拉尼真空計(jì),.由電阻規(guī)管和測量儀器兩部分組成。電阻規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。規(guī)管的外殼為玻璃殼或金屬殼,殼內(nèi)裝有電阻絲。電阻絲常用電阻溢度系數(shù)較大的鎢、鉑、鎳等金屬絲。電阻絲溫度升高時,其電阻值增加。反之,溫度降低時,電阻值減小。電路系統(tǒng)保持電阻絲兩端的電壓恒定。如被測真空系統(tǒng)的氣體壓強(qiáng)降低時,氣體的導(dǎo)熱率相應(yīng)減小,被氣體傳走的熱M減小,規(guī)管內(nèi)電阻絲溫度升高,其電阻R,相應(yīng)增加。反之,氣體壓強(qiáng)增高,R,相應(yīng)減小。其側(cè)量電路為惠斯登電橋。規(guī)管的電阻絲為電橋的一竹,RZR。是固定電阻,R3是可變電阻。電橋平衡的條件是R,"R,=R2"R當(dāng)R,變化時,電橋失去平衡,不平衡電流值由微安表讀出,即可測出真空度的變化。
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