以下就是我們常見(jiàn)的真空系統(tǒng)：

　　(1)真空度在10^-10-，托壓強(qiáng)范圍的真空系統(tǒng)(圖10)s一般只采用機(jī)械真空泵就可以了。當(dāng)真空度要求稍高，抽氣速率要求不大的情況下，宜選用旋片式真空泵。當(dāng)需要較大的抽氣速率而真空度要求不太高時(shí)，可采用滑閥式真空泵。

　　(2)真空度在10-=^-10一托壓強(qiáng)范圍的真空系統(tǒng):一般由增壓泵和機(jī)械泵組成。增壓泵可以111羅茨泵也可用油增壓泵。羅茨泵的極限真空度略低于油增壓泵，但抽速比油增壓泵大，可以根據(jù)不同使用情況選用。圖11,圖12為羅茨泵一機(jī)械泵真空系統(tǒng)。圖11真空系統(tǒng)的工作過(guò)程如下:開始抽真空時(shí)啟動(dòng)機(jī)械泵1，同時(shí)打開電磁閥2，關(guān)閉閥們4、閥門9，打開閥門10，機(jī)械泵對(duì)真空爐預(yù)抽真空。當(dāng)機(jī)械泵達(dá)到羅茨泵啟動(dòng)壓強(qiáng)時(shí)，關(guān)閉閥門10，打開閥門4、閥門9,啟動(dòng)羅茨泵，直至抽到所要求的真空度。圖12與圖11真空系統(tǒng)的區(qū)別在于圖12的系統(tǒng)把機(jī)械泵與羅茨泵串聯(lián)，省去了機(jī)械泵的預(yù)抽管路。加熱爐其優(yōu)點(diǎn)是管路簡(jiǎn)化，閥門數(shù)量少，操作方便。

　　(3)真空度在10~10。托壓強(qiáng)范圍的真空系統(tǒng):這種真空系統(tǒng)一般由油擴(kuò)散泵、油增壓泵、機(jī)械泵組成。也有不配用埔壓泵而直接由油擴(kuò)散泵和機(jī)械泵組成的。圖13為油擴(kuò)散泵一油增壓泵一機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。