真空測里真空測量是真空技術(shù)中的一個(gè)重要組成部分用于測量真空度的儀器叫真空計(jì)。真空計(jì)的種類很多,根據(jù)真空計(jì)的刻度方法,焙燒爐可分為絕對真空計(jì)和相對真空計(jì)。
(一)絕對真空計(jì):通過對氣體壓強(qiáng)進(jìn)行測量,經(jīng)過計(jì)算后,能反映真空度的真空計(jì),叫絕對真空計(jì),如:U型管真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)等。
(1)U型管真空計(jì):利用U型管兩端的液面差,來測量壓強(qiáng)的真空計(jì)叫U型管真空計(jì)。
(2)壓縮式真空計(jì):又稱麥克勞真空計(jì)。利用波意耳定律,將定量待測的氣體,用水銀或油壓縮到極小體積,然后比較它的開管與閉管之間的液柱差,通過計(jì)算求得壓強(qiáng)的一種絕對真空計(jì)。
(二)相對真空計(jì):通過對與壓強(qiáng)有關(guān)的物理盈進(jìn)行側(cè)盤,但不能通過計(jì)算來進(jìn)行刻度,只能與絕對真空計(jì)進(jìn)行比較才能刻度的真空計(jì),叫相對真空計(jì),如:彈性式真空表、薄膜式真空計(jì)、電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)等。:
(1)彈性式真空表:利用彈性元件隨壓強(qiáng)變化所產(chǎn)生的變形,測量真空度的真空計(jì)。
(2)電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì):利用氣體分子的熱傳導(dǎo)作用,測量真空度的真空計(jì)。
(3)電離真空計(jì):利用氣體分子在低壓強(qiáng)下的電離現(xiàn)象,測炭真空度的真空計(jì)。用于測量真空度的儀器叫真空計(jì)。真空計(jì)的種類很多,根據(jù)真空計(jì)的刻度方法,可分為絕對真空計(jì)和相對真空計(jì)。
(一)絕對真空計(jì):通過對氣體壓強(qiáng)進(jìn)行測量,經(jīng)過計(jì)算后,能反映真空度的真空計(jì),叫絕對真空計(jì),如:U型管真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)等。
(1)U型管真空計(jì):利用U型管兩端的液面差,來測量壓強(qiáng)的真空計(jì)叫U型管真空計(jì)。
(2)壓縮式真空計(jì):又稱麥克勞真空計(jì)。利用波意耳定律,將定量待測的氣體,用水銀或油壓縮到極小體積,然后比較它的開管與閉管之間的液柱差,通過計(jì)算求得壓強(qiáng)的一種絕對真空計(jì)。
(二)相對真空計(jì):通過對與壓強(qiáng)有關(guān)的物理盈進(jìn)行側(cè)盤,但不能通過計(jì)算來進(jìn)行刻度,只能與絕對真空計(jì)進(jìn)行比較才能刻度的真空計(jì),叫相對真空計(jì),如:彈性式真空表、薄膜式真空計(jì)、電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)等。
(1)彈性式真空表:利用彈性元件隨壓強(qiáng)變化所產(chǎn)生的變形,測量真空度的真空計(jì)。
(2)電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì):利用氣體分子的熱傳導(dǎo)作用,測量真空度的真空計(jì)。
(3)電離真空計(jì):利用氣體分子在低壓強(qiáng)下的電離現(xiàn)象,測炭真空度的真空計(jì)。
(1)絕對真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn),是結(jié)構(gòu)簡單、造價(jià)低、測量精度高,其測量值與被測氣休種類無關(guān)(可凝性蒸氣除外)。其缺點(diǎn)是操作不便,不能連續(xù)測量,用水銀作介質(zhì)時(shí),水銀蒸氣對環(huán)境有污染。
(2)相對真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn),是能連續(xù)測量真空度,并便于自動(dòng)記錄和用于自動(dòng)控制。其缺點(diǎn),是測量精度受氣體種類和環(huán)境溫度的影響較大,測量精度不如絕對真空計(jì)高。
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